仪器适用于工厂车间和实验室对各种零部件作喷氦法（真空检漏法）、吸氦法（压力检漏法）、背压法检漏。仪器主要配置：涡轮分子泵（德国莱宝）一台，前级机械真空泵（美国瓦里安）一台，粗抽机械真空泵（英国爱德华）一台，带有计量证书的标准漏孔一只 ，质谱分析室一套（成都仪器厂）

 氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少（仅万分之五），离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法（如气泡法、卤素检漏法等）相比，它是佼佼者。     ZLS－26D/T型氦质谱检漏仪是新型的全功能氦质谱检漏仪，机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强近似大气时，采用道扩散方式进行检漏，也可以在测试口压强为50Pa以下时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检较大的漏隙（测试口压强在 50～10^-1Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在10^-1Pa以下）。仪器测量范围可达2×10^-1～2×10^-12Pa·m/S。仪器采用光柱和数码管直接显示漏率，且可按需要选用适当的漏率单位（仪器已给出四种常用单位Pa·m³/S、Torr·L/S、mbAR·l/s、atm·cc/s），读数方便仪器有音响报警装置，报警点可以任意设定，使用方便。